主動式除振台 :: 倉敷化工 KURASHIKI KAKO

主動式除振台

系列

商品特徵

規格概要

A、B、BLI

．氣壓控制型主動式除振台
．具FF、FB等主動式控制模式
．適用於半導體製造設備、
　高精度檢查設備

．輸入電源：
　單相50/60Hz
　AC 85~264V
．單顆支撐載重範圍：
　290 ~ 3950kg

Type-C

．安裝面尺寸一致
．可選擇重視除振或重視制振
．採標準化模組設計，利於彈性升級

．單顆支撐載重範圍：
　130 ~ 2700kg
．控制方式：FB/FF 6自由度控制 MFF

LHKP、LH、LS、LC

．線性馬達型主動式除振台
．具FF、FB等主動式控制模式
．適用於掃描型探針顯微鏡、
　掃描型電子顯微鏡

．輸入電源：
　單相50/60Hz
　AC 85~264V
．單顆支撐載重範圍：
　30 ~ 750kg

．無需氣壓源
．統一安裝底座
．具備 6 自由度數位控制技術

．單顆支撐載重範圍：
　150 ~ 400kg
．外型尺寸：
　150x150(mm)

．線性馬達型主動式除振台
．可依設備需求自由規劃數量
．小型化、輕量化、易搬運
．一鍵操作，自動調校

．輸入電源：
　單相50/60Hz
　AC 85~264V
．單顆支撐載重範圍：
　250kg