● 線性馬達控制技術：針對尚未導入主動式除振台用戶的入門款機型，實現低成本、易於導入的「無氣式除振台」
● 無須氣壓源： 採用螺旋彈簧結構，無需配置空壓機，大幅降低安裝環境門檻。
● 統一安裝底座： 相同尺寸設計，讓設備設計與導入更為容易。
● 無須氣壓源： 採用螺旋彈簧結構，無需配置空壓機，大幅降低安裝環境門檻。
● 統一安裝底座： 相同尺寸設計，讓設備設計與導入更為容易。
■ 主要用途
電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡
除振系統影片介紹
● 主動式除振台：e-Stable
延伸閱讀
➤ 為精密設備/儀器解決微振動問題 - Part 1 倉敷化工除振系統解析
➤ 為精密設備/儀器解決微振動問題 - Part 2 模擬報告事前評估
| 產品型號 | EST-LX150 | EST-LX250 | EST-LX400 | ||||
| 驅動機構 | 線性馬達 | ||||||
| 控制方式 | FB・FF 6自由度制御 MFF(選配) | ||||||
| 水平調整方式 | 手動水平調整 | ||||||
| 控制器 ※1 | 數位控制器 | ||||||
| 搭載質量(kg) | 150 | 250 | 400 | ||||
| W×D | 除振台外形尺寸(mm) | 150×150 | |||||
| A×B | 除振台安裝尺寸(mm) | 130×130 | |||||
| 製品重量(kg) | 8 | ||||||
※1：控制器、電源模組分開安裝。
如需產品圖檔，請洽廣億科技服務人員，謝謝！