精密馬達滑台

系列
商品特徵
規格概要
LS
Piezo motor stage
.數十mm移動行程
 保有20nm解析度
.具高推力
.可客製化
.反覆定位精度20nm
TS
Ultrasonic motor stage
.馬達發熱極小、熱飄移小
.可客製化
.反覆定位精度20nm
.反覆定位精度1''[秒]