精密馬達滑台 :: THK PRECISION 　 :: 廣億科技

精密馬達滑台

系列

商品特徵

規格概要

LS

Piezo motor stage
．數十mm移動行程
　保有20nm解析度
．具高推力
．可客製化

．反覆定位精度20nm

TS

Ultrasonic motor stage
．馬達發熱極小、熱飄移小
．可客製化

．反覆定位精度20nm
．反覆定位精度1''[秒]