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共面氣浮平台

系列
商品特徵
規格概要
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CAB-XY300
．共面式設計結構穩定剛性強
．提升了空間利用率
．適用於無塵環境
．重複定位精度：±0.25μm
．絕對(補償)精度：±0.5μm
．直線度：±0.5μm