東佑達奈米系統 TOYO NANO
XY 共面氣浮平台
CAB-XY300 系列
具備奈米級的定位精度，適合於需要高精度測量和精準對位的行業，如Micro LED、半導體AOI、PCB檢測、自動化精密量測和雷射切割。
XY共面氣浮平台CAB-XY300具備奈米級的定位精度，重複定位精度可達±0.25μm，絕對（補償）精度可達±0.5μm，適合於需要高精度測量和精準對位的行業，如Micro LED、半導體AOI、PCB檢測、自動化精密量測和雷射切割。
平台的XY軸都在同一平面上運作，避免了堆疊誤差，提供一致的平面基準，從而提高整體平面度與精度。這種共面式設計結構穩定剛性強，減少了震動，並提升了空間利用率，為用戶提供了一個高效、可靠和精確的操作平台。
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