加入詢價車成功!

請輸入產品輸量!

THK PRECISION
壓電馬達滑台

LS 系列

Piezo motor stage
.數十mm移動行程保有20nm解析度
.具摩擦保持力
.對應真空環境
.具高推力
.可客製化

數量:
加入詢價
高精度定位滑台,能夠以20~40nm的高解析度控制毫米~數十毫米的行程。採用PiezoMotor的PiezoLEGS®驅動器,推力提供6N和20N兩種,即使在靜止狀態下,仍能維持與推力相同的保持力,確保靜止時的穩定性和對抗干擾的高定位精度。本體材質提供鋁製和不銹鋼製兩種選擇。

 

產品特點
  • 設計輕薄,節省空間。
  • 自發熱低。
  • 適用於真空環境,無磁性。
  • 內建線性編碼器,具有高重複精度。

 

 

產品應用實例
  • 光學系統的高精度定位。
  • 雷射光學元件的光軸調整。
  • 精密測量。
  • X射線/分析與測量設備。
  • 顯微鏡用樣品台。
  • 位置調整後需靜止保持的應用。
主要適用於需要精確定位或位置調整後需要斷電靜止保持的應用。

 

 

控制器
 

THK PRECISION _ 精密馬達滑台_ 壓電馬達滑台_ 產品介紹LS系列

用於驅動和控制LS系列壓電馬達滑台的控制器。
控制器將控制電路和驅動器結構整合在一起。當將壓電馬達台連接到控制器時,可以使用ABZ相輸出的光學線性編碼器進行閉迴路控制。

我們提供1至4軸控制器,可透過LAN或RS485接口從電腦發送控制指令來輕鬆操作控制器,也支援將接口更改為RS232C接口。

 

 

產品特點
  • 內建控制板、驅動板及線性感測器插補器,並支援RS485鏈接,能夠實現多軸控制(依線性感測器而定)。
  • 當1至4軸控制器連接後,能立即進行高解析度定位控制。
  • 使用解析度為10nm的線性感測器和驅動解析度為1nm以下的驅動器進行驅動控制。
  • 驅動解析度為1 nm以下,也可與精度較高的非標準線性感測器搭配使用。
  • 內部控制板採用RS485進行連結,可支援多軸控制(最多127軸)。

 

 

延伸閱讀

LoadCell新選擇-微小力應力感測器

 

THK PRECISION _ 精密馬達滑台_ 壓電馬達滑台_ LS系列 產品規格表 

型號

軸向

行程
[mm]

解析度
[nm]

最大移動速度
[mm/sec]

載重
[kg]

外型尺寸
[mm]

LS1L46-08B-06

X

±4

40

5

1

46×46×18

LS1L60-08B-06

X

±4

40

5

1

60×80×24

LS1L60F-08B-06

X

±4

40

5

1

60×80×24

LS1L90-16A-06

X

±8

20

5

2

90×110×26

LS1L90-16A-20

X

±8

20

5

2

90×110×26

LS1L90F-16A-06

X

±8

20

5

2

90×110×26

LS1L90F-16A-20

X

±8

20

5

2

90×110×26

LS1L90-16B-06

X

±8

40

5

2

90×110×26

LS1L90-16B-20

X

±8

40

5

2

90×110×26

LS1L90F-16B-06

X

±8

40

5

2

90×110×26

LS1L90F-16B-20

X

±8

40

5

2

90×110×26

LS1L120-25A-06

X

±12.5

20

5

3

120×140×26

LS1L120-25A-20

X

±12.5

20

5

3

120×140×26

LS1L120F-25A-06

X

±12.5

20

5

3

120×140×26

LS1L120F-25A-20

X

±12.5

20

5

3

120×140×26

LS1L120-25B-06

X

±12.5

40

5

3

120×140×26

LS1L120-25B-20

X

±12.5

40

5

3

120×140×26

LS1L120F-25B-06

X

±12.5

40

5

3

120×140×26

LS1L120F-25B-20

X

±12.5

40

5

3

120×140×26

LS2K180-16B-06

XY

±8

40

5

2

180×230×36

 

 

控制器

型號

軸向

光學線性傳感器類型

控制介面

外型尺寸
[mm]

LC421A

1

Renishaw

LAN,RS485(標準配備)

USB,RS232C(選配)

W210×D228×H60

(不包括突起)

LC421B

1

NanoControl

LAN,RS485(標準配備)

USB,RS232C(選配)

W210×D228×H60

(不包括突起)

LC422A

2

Renishaw

LAN,RS485(標準配備)

USB,RS232C(選配)

W210×D228×H60

(不包括突起)

LC422B

2

NanoControl

LAN,RS485(標準配備)

USB,RS232C(選配)

W210×D228×H60

(不包括突起)

LC443A

3

Renishaw

LAN,RS485(標準配備)

USB,RS232C(選配)

W210×D228×H60

(不包括突起)

LC443B

3

NanoControl

LAN,RS485(標準配備)

USB,RS232C(選配)

W210×D228×H60

(不包括突起)

LC444A

4

Renishaw

LAN,RS485(標準配備)

USB,RS232C(選配)

W210×D228×H60

不包括突起)

LC444B

4

NanoControl

LAN,RS485(標準配備)

USB,RS232C(選配)

W210×D228×H60

(不包括突起)

如需產品圖檔,請洽廣億科技服務人員,謝謝!