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THK PRECISION
防潮/特殊環境用壓電滑台

PSM、PKM 系列

Moisture-resistant / for special environments
.可客製化

數量:
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『金属密閉タイプ圧電アクチュエータ』を採用し、高温, 高湿環境下での 耐久性を高めた特殊環境対応型のピエゾステージです。

 

金属ケース封入タイプは、圧電素子を外気から遮断した構造とすることで雰囲気の影響を受けにくくしています。


樹脂外装タイプの圧電素子と比較して周囲温度や湿度に対する耐久性に優れる他、長時間の定電圧印加でも劣化(寿 命)が起こりにくく、次のような機器や環境あるいは使用方法に適しています。

 

The type enclosed in a metal case is designed to be less susceptible to the atmosphere by having a structure in which the piezoelectric element is isolated from the external air. It is more durable to the ambient temperature and humidity than the piezoelectric element incorporated in the type with a resin exterior. In addition, this type is less subject to deterioration (life shortening) even if it is applied with a constant voltage for a long time, and is therefore suitable for the following equipment, environments or usages.

 

  • バイオなど液体を取り扱う機器や顕微鏡
  • 加工機でオイルやミストがかかる環境
  • 一定位置で長時間静止(待機)する使い方 ※動作させている時間の方が短い
  • 故障時に交換(取り外し)が困難な場所での使用
  • 高い信頼性が求められる用途
  • 高真空、超高真空
     
  • Equipment or microscope that handles liquids such as bio
  • Environment with oil or mist due to processing machinery
  • Cases where the stage is used in static (stand-by) state for a long time in a certain position
    * The operating time is shorter.
  • Use in a place where it is difficult to replace (remove) the stage in the case of failure
  • Applications where high reliability is required
  • High / ultrahigh vacuum

 

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型號

軸向

行程
[μm]

解析度
[nm]

反覆定位精度
[nm]

共振周波數[Hz]

載重

[N]

外型尺寸
[mm]

PSM1H70-040U

X

40

1

±1

2700

10

70×85×25

PSM1H70F-040U

X

40

1

±1

1780

30

70×85×25

PSM1L70-100U

X

100

2

±2

930

10

70×85×25

PKM2L130-040U

XY

40

1

±1

1440

10

130×130×30

PKM2L160-200U

XY

200

5

±5

330

10

160×160×30

如需產品圖檔,請洽廣億科技服務人員,謝謝!