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THK PRECISION
高剛性・超精密加工機用壓電滑台

PU 系列

A stage for ultraprecision processing machinery
.實現奈米/微米等級超精密加工
.可客製化

數量:
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單軸型式
適用於精密切削,可實現奈米/微米加工的等級。
可高速、高精度地控制刀具的切削深度與工件的位置。

 

 

防塵、防水措施
  • 採密閉結構,能有效防止加工液和霧氣的侵入問題,並阻止細小切屑的進入。

 

 

堅固的主體
  • 主體材料採用鋼材,確保加工過程中的穩定性。
  • 機身結構堅固,能有效抵抗振動和切削負荷,不影響加工精度。

 

 

產品應用實例
  • 鑽石切削進給。
  • 微細切削、研磨加工。
  • 高速刀具控制。
  • 工件位置定位。
  • 精密模具加工。
  • 高負載重物的精密定位。

 

 

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THK PRECISION _ 超精密定位用壓電滑台_ 產品介紹PU系列

型號

 

軸向

 

行程
[μm]

解析度
[nm]

反覆定位精度
[nm]

共振周波數[Hz]

載重

[N]

PU1H70F-012U

X

12

1

±1

4300

50

PU1H80F-030U

X

30

1

±1

2200

50

PU1H150F-060U

X

60

2

±2

650

50

PU1L70F-080U

X

80

2

±2

1000

50

PU2H70F-030U

XY

30

1

±1

1800

50

PU2H90F-030U

XY

30

1

±1

890

30

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