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THK PRECISION
回轉・傾角型滑台

PT 系列

Rotary/tilting stages
.可用於反射鏡、繞射光柵製程
.可客製化

數量:
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旋轉型
使用壓電素子進行旋轉和角度調整。 雖然角度的位移量很小,但具有優異的高速動作和分辨率,非常適合光學元件的微角度對準和精密表面調整。

 

 

使用彈性鉸鏈機構替代機構中的軌道
獨特設計的彈性鉸鏈機構,支持壓電元件的伸縮和位移,確保穩定的旋轉動作。
由於沒有摩擦和磨損,因此具有出色的平滑性和高速運動性,適合極精細的角度調整。

 

 

產品應用實例
  • 雷射光軸調整。
  • 精密平行面調整。
  • 光學設備的角度微調。
  • 傾斜調整。
  • 光學微腔(共振腔)調整。

 

 

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動作示意圖
Rotary type Goniometry type  Tilting (+rise/fall) type
THK PRECISION  piezo stage rotary type THK PRECISION  piezo stage goniometry type THK PRECISION  piezo stage tilting type
可調整傾角 & Z軸

 

型號表

 

型號

 

應用

 

最大偏轉角

 

解析度

 

共振周波數[Hz]

載重

[N]

外型尺寸
[mm]

PT1C80-050S

旋轉

50"[]

≒0.014°≒0.2mrad

0.05"[]

0.24μrad

5550

10

80×90×20

PT1C60-800S

旋轉

800"[]

≒0.22°≒3.9mrad

0.05[]

≒0.24μrad

640

10

60×60×20

PT1C60-1800S

旋轉

1800"[]

≒0.50°≒ 8.7mrad

0.2"[]

≒1.0μrad

240

10

60×70×30

PT1G100-300S 傾角

300"[]

≒0.08°≒1.5mrad

0.02"[]

≒0.10μrad

260 20 100×100×30
PT1G100-500S 傾角

500"[]

≒0.14°≒2.4mrad

0.02"[]

≒0.10μrad

260 20 100×100×30

 

 

型號

 

應用

 

最大偏轉角、移動量

解析度

共振周波數[Hz]

載重

[N]

外型尺寸
[mm]

傾斜

昇降

傾斜

昇降

PT1T60-500S

傾斜

500"[秒] ≒0.14°≒2.4mrad

-

0.02"[秒]

≒0.10μrad

-

1800

10

60×60×30

PT3V80F-400S

傾斜

±400"[秒]

≒±0.11°≒±1.9mrad

100μm

0.02"[秒]

≒0.10μrad

2nm

270

10

80×80×32

PT3V100-800S

傾斜

±800"[秒]

≒±0.22°≒±3.9mrad

300μm

0.04"[秒]

≒0.19μrad

10nm

230

10

100×100×32

如需產品圖檔,請洽廣億科技服務人員,謝謝!