東佑達奈米系統 TOYO NANO
XY中空定位平台
LXY-100-G
LXY-G 系列
奈米級中空定位平台 LXY，不僅擁有高穩定結構設計，奈米級伺服控制水準，並透過軟體方案，提升整體設備精度，完美呈現機、電、軟體高度整合能力，滿足半導體設備提升需求。
➤ 奈米級定位
適用高階精密檢測儀器，達成各項精細檢測任務，以符合產業應用持續升級之趨勢。
➤ 大中空型設計
大中空型設計，可進行雙面加工，放入光學檢查機構，適用於各種需要通過平台進行傳輸或連接場合，主要應用在雙面測量檢測、生物樣片加工和觀測、薄膜和油墨厚度測量等需要奈米級定位精度和中空設計的工業領域與科研項目。
➤ 低阻力摩擦設計
搭配無鐵心線性馬達，輕量化，大中空結構設計。
➤ 精準對位
適用產業：面板貼合、精密印刷、晶圓定位、AOI檢測。
➤ 多樣式導軌設計
可選用軌道內嵌、交叉滾柱導軌、標準線軌等多樣化軌道設計，搭配無鐵心線馬。
➤ 動態性能佳
➤ 優異幾何精度
LXY-100-G
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