東佑達奈米系統 TOYO NANO
空氣軸承模組
LBT 系列
LBT空氣軸承模組為針對先端半導體與面板製程設備需求所開發之新世代奈米空氣軸承定位平台，適用於Micro LED、半導體AOI、PCB檢測、自動化精密量測、雷射切割等產業。
平台採用專利氣浮軸承結構，可於千分之一秒內達到奈米誤差內要求，大幅減少運動控制整定時間與元件磨耗率，提升目標客戶設備生產力與可靠性，滿足市場上受空間限制、高速、高精度的要求。模組化設計，降低導入時間及減少人工成本。
➤ 適用各種精密量測製程精準對位
適用產業：Micro LED、半導體AOI、PCB檢測、自動化精密量測、雷射切割。
➤ 零磨耗，無需使用潤滑油
採用非接觸式空氣軸承驅動，移動時元件間無機械接觸，不會隨著時間推移而產生磨耗或性能下降。
使用壽命無限，無潤滑油污染平台，只需氣體驅動，是潔淨室和醫療應用的理想選擇。
無塵等級：Class 1
使用壽命無限，無潤滑油污染平台，只需氣體驅動，是潔淨室和醫療應用的理想選擇。
無塵等級：Class 1
➤ 精密幾何精度
容易實現超高六個自由度(線性精度、水平直線度、垂直直線度、Yaw、Pitch、Roll)以及軸與軸間之正交度。
➤ 優異速度漣波表現
➤ 奈米級直線度/平面度
LBT210
LBT275
如需產品圖檔，請洽廣億科技服務人員，謝謝！