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．為了抑制氣體釋放，馬達外殼使用鋁、不鏽鋼材質，表面不塗裝。此外，軸承使用真空用潤滑油。
．釋放的氣體與通常潔淨環境下的成分相同，因此無須擔心污染真空環境。
．使用可承受熱處理溫度的耐熱用線圈。
．釋放的氣體與通常潔淨環境下的成分相同，因此無須擔心污染真空環境。
．使用可承受熱處理溫度的耐熱用線圈。
▎使設備小型化，擴大設計的自由度
在大氣中設置馬達時，需使用運轉導入機等，設備體積會變大。真空型馬達可將設置於真空環境內，因此可讓設備小型化。此外，αSTEP AR系列不需要位置確認用檢知器，有助於降低成本。
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█ 使用αSTEP AR系列，無需編碼器即可進行位置監控
αSTEP AR系列除了透過閉回路控制監視馬達資訊外，還搭載各種警示輸出功能。不需要真空對應型的昂貴編碼器。
搭載轉子位置檢知器（Resolver），可檢知馬達資訊並控制馬達。
▎在真空中實現各種動作
常用於各式各樣的用途，如半導體製造設備及電子顯微鏡的測量機器等。
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真空型馬達可對應真空環境下的多軸平台，解決難以設計運轉導入機的問題。可在真空中組合複數軸，實現更複雜的動作。
█ 低損失的αSTEP AR系列，最適合用在真空中解析、加工等用途
常被運用於低真空中的物質解析、高輸出雷射加工、真空鍍膜等需要在真空環境下定位的用途。
▎抑制氣體釋放的設計
為了抑制產生氣體釋放，馬達表面無進行塗裝，軸承部使用真空用潤滑油。主要的殘留氣體與通常潔淨環境下的成分相同，使用時無須擔心污染真空室。
▎抑制溫度上升維持真空壓
通常，隨著馬達電流值增加，真空壓力會變高。馬達溫度上升主因是線圈或樹脂材料的水分蒸發增加而導致。若要讓真空壓維持較低狀態，重點在於讓馬達保持較低的溫度。
馬達電流值增加 → 馬達溫度上昇 → 馬達零件的水分蒸發 → 真空壓上昇
馬達電流-真空壓特性（普通模式）
αSTEP AR系列具有依據負載轉矩大小調整馬達電流的功能（CC模式）。
使用CC模式可抑制馬達溫度，並使維持在低真空壓。
使用CC模式可抑制馬達溫度，並使維持在低真空壓。
下圖為連續運轉及運轉週期比率（斷續運轉）時的轉速―溫度特性。
轉速-溫度特性（CC 模式）
．即使是溫度容易升高的連續運轉，若轉速維持在900r/min以下，外表溫度不會超過100℃。
．500r/min週期運轉時的外殼溫度與各模式相比，CC模式時為46℃，通常模式時為80℃。CC 模式下溫度降低 34°C。
．500r/min週期運轉時的外殼溫度與各模式相比，CC模式時為46℃，通常模式時為80℃。CC 模式下溫度降低 34°C。
| 電源輸入 | 基本步級角 [°] |
真空度 [Pa] |
安裝尺寸 [mm] |
重量 [kg] |
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| 28 | 42 | 60 | 45 | ||||
| DC | 0.72 | 10-4 | - | ● | ● | - | 0.21～1.3 |
| 10-5 | ● | - | - | - | 0.11～0.2 | ||
如需產品圖檔，請洽廣億科技服務人員，謝謝！