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THK PRECISION
標準直動壓電滑台

PS 系列

Standard linear stages
.1~3軸為一體式構造
.可客製化

數量:
加入詢價
壓電滑台的基本系列,具有1~3個軸向,為一體化形式的直動滑台,有各種行程與外觀。

 

產品有2種機構類型:
分為共振頻率高、強調高速響應的「直接驅動機構」和較長行程的「位移放大機構」。

 

 

直接驅動機構
  • 壓電元件直接移動工作台的機構。
  • 行程短,有優異的解析度和反應能力。
  • 剛性高,即使在重負載下也能穩定定位。
 THKP_壓電滑台_直接驅動機構

 

 

位移放大機構
  • 壓電元件進行驅動,具有設計行程放大機構提升壓電伸長率。
  • 根據放大倍率,可獲得比直接驅動機構數倍至10倍以上的行程。
  • 內藏位移感測器的回授控制,可以保持優秀的反覆定位精度。
THKP_壓電滑台_位移放大機構

 

 

產品應用實例
  • 半導體、FPD(flat-panel display)檢查設備
  • 硬碟測試儀
  • 雷射光學耦合系統
  • 搭配干涉儀相關設備或儀器
  • 分析設備或儀器
  • 奈米定位應用

 

 

影音專區

PS1H 壓電滑台微動

 

 

延伸閱讀

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THK PRECISION _ 超精密定位用壓電滑台_ 標準直動壓電滑台_ 產品介紹PS系列

型號

 

軸向

 

行程
[μm]

解析度
[nm]

反覆定位精度
[nm]

共振周波數[Hz]

載重
[N]

外型尺寸
[mm]

PS1H25-006U

X

6

1

±1

13000

5

25×30×16

PS1H35-006U

X

6

1

±1

9700

10

35×35×16

PS1H45-012U

X

12

1

±1

6200

10

45×45×16

PS1H60F-012U

X

12

1

±1

4100

50

60×60×20

PS1H40F-020U

X

20

1

±1

4100

30

48×60×13.5

PS1H60-020U

X

20

1

±1

3300

10

60×60×16

PS1H80-030U

X

30

1

±1

1900

10

80×80×16

PS1H80F-030U

X

30

1

±1

1900

50

80×80×20

PS1L45-030U

X

30

1

±1

1500

10

45×50×20

PS1L40-050U

X

50

2

±2

970

5

40×45×15

PS1L60-060U

X

60

2

±2

1300

10

60×70×20

PS1L40-100U

X

100

2

±2

510

5

40×45×15

PS1L65-250U

X

250

10

±10

360

5

65×65×15

PS1L66-500U

X

500

20

±20

200

5

66×66×17

PS1L80-700U

X

700

30

±30

106

5

80×80×20

PS2H60-012U

XY

12

1

±1

2000

10

60×80×25

PS2H95-012U

XY

12

1

±1

3800

10

95×95×25

PS2H60-030U

XY

30

1

±1

1600

10

60×80×25

PS2H110-030U

XY

30

1

±1

3400

10

110×110×25

PS2L50-050U

XY

50

2

±2

420

5

50×50×25

PS2L92-050U

XY

50

2

±2

1300

10

92×92×25

PS2L100-080U

XY

80

2

±2

480

10

100×100×30

PS2L50-100U

XY

100

2

±2

280

5

50×50×25

PS2L60-250U

XY

250

10

±10

120

5

60×60×26

PSVH35-006U

Z

6

1

±1

3500

10

35×35×26

PSVH45-012U

Z

12

1

±1

2600

10

45×45×36

PSVH60F-012U

Z

12

1

±1

1600

50

60×60×40

PSVH80F-030U

Z

30

1

±1

1200

50

80×80×60

PSVL45-060U

Z

60

2

±2

570

5

45×45×32

PSVL45F-100U

Z

100

2

±2

300

10

45×45×32

PSVL60-100U

Z

100

2

±2

380

5

60×60×32

PSVL60F-100U

Z

100

2

±2

270

10

60×60×38

PSVL60F-150U

Z

150

5

±5

190

10

60×60×32

PSVL80F-300U

Z

300

10

±10

180

10

80×80×38

PS3H70-020UA

XYZ

20 (XY)
12 (Z)

1

±1

970

10

80×70×65

PS3H120-030U

XYZ

30

1

±1

740

10

120×120×30

PS3L100-080UA

XYZ

80 (XY)
20 (Z)

2 (XY)
1 (Z)

±2 (XY)
±1 (Z)

400

10

100×100×30

PS3L68-100U

XYZ

100

2

±2

250

5

68×68×40

 

 

如需產品圖檔,請洽廣億科技服務人員,謝謝!