無塵室風場難掌控？3D超音波風向風速計助您提升生產良率！
*2024.12製
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對於半導體產業而言，晶圓製程的每一個環節都伴隨著高昂的成本投入，良率的高低更直接影響了晶圓廠的獲利能力。然而，晶圓製造過程複雜且精密，微小的落塵或不穩定的風場，都可能導致不可逆的損失。
為了提高並維持生產良率，管控無塵室內「氣流」成為重要課題。本文將來探討如何透過 3D超音波風向風速計 解決氣流量測問題。 |
無塵室風場難掌控？超音波風速計助您提升生產良率！
▌如何選擇風向風速計？
想要精準掌控風場氣流，選擇一款「高精度、小型化且反應快速」的風速是關鍵。然而，市面上的風速計量測技術及適用場景各有不同，為協助您更高效選擇，我們整理了常見的量測技術進行比較。
▎風向/風速量測方式比較
▲ 單軸式風速計、三軸式風速計、煙霧式、雷射光幕式比較圖
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▌３次元超音波風向風速計介紹：
來自日本SONIC CORPORATION的3D超音波風向風速計，採用「時域分割收發切換型超音波脈衝」方式測量，能夠在不影響環境的前提下，即時提供準確的氣流數據。
▎案例分享
● 場景應用：
半導體無塵室內部氣流監控。
● 客戶痛點：
廠內原使用「煙霧」偵測無塵室的氣流方向，但由於「溫度、濕度」的影響，於量測前需協調停機時間才能進行作業。量測過程不僅耗時又費力，更沒有數據可參考，僅能憑經驗調整FFU氣流再行驗證。
● 用戶回饋：
使用了3次元超音波風向風速計後，由於超音波量測不影響無塵室環境，故無需協調停機時間。此外，搭配軟體「可視化」的數據，一旦發現風場問題，能快速確認並避免延誤產能。
相較於傳統煙霧測試，整體作業時間節省近50%，不僅提升效率，更進一步改善並穩定良率。
半導體無塵室內部氣流監控。
● 客戶痛點：
廠內原使用「煙霧」偵測無塵室的氣流方向，但由於「溫度、濕度」的影響，於量測前需協調停機時間才能進行作業。量測過程不僅耗時又費力，更沒有數據可參考，僅能憑經驗調整FFU氣流再行驗證。
● 用戶回饋：
使用了3次元超音波風向風速計後，由於超音波量測不影響無塵室環境，故無需協調停機時間。此外，搭配軟體「可視化」的數據，一旦發現風場問題，能快速確認並避免延誤產能。
相較於傳統煙霧測試，整體作業時間節省近50%，不僅提升效率，更進一步改善並穩定良率。
▶ 延伸閱讀：「製程品質」想大大提升？「氣流控管」超重要！
▲ 超音波風向風速計軟體-5項機能讓氣流「可視化」
▎實測！３D超音波風向風速計
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