1. 您是否遇過類似的量測極限？

若將微小力量「20 µN」換算成重量，大約相當於 2 mg（0.002 g），約為一粒米重量 20 mg（0.02 g）的十分之一。 要檢測如此微小的力量，需要具備超高感度的荷重感測器。

 

 

 

2. 各領域解決方案  (圖片為示意圖)

【半導體／高密度封裝製程】

 

主要用途：

• 監控探針測試製程及微細接合時的接觸、加壓荷重。
• 防止精密元件與薄型晶片因過荷重而受損。
• 應用於新材料、新製程導入初期的條件設定與最佳化。

    

 

 

．即時處理監控解決方案

 

主要用途：

• 監控切割刀片的變形與研削阻力。
• 及早檢測刀刃磨耗，以及工具／工件開始接觸的時機，協助加工穩定化。
• 將加工條件設定與條件變化可視化，例如速度、轉速、硬度控制等。

    

 

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主要用途：

• 評估穿刺／切割力及反作用力曲線。
• 高精度檢測入口點、穿透點和接觸開始時間。
• 透過量測數據，判斷手術輔助機器人尖端的接觸狀態與受力變化。
• 開發微創醫療器材之設計驗證，以及基於微小力回饋之安全控制與自動停止技術。

    

 

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主要用途：

• 透過量測數據，分析細胞、生體組織、纖維的黏彈性與硬度。
• 評估微小摩擦力、附著力、剝離力等微觀摩擦學特性。
• 高感度檢測裂紋、剝離等細微行為，並定量比較條件差異與個體差異。

    

 

3. 多元應用實例

• 航太領域相關微小流體量測監控
• 微小彈簧力測量
• 摩擦力測量
• 彎曲力測量
• 黏彈性測試
• 液滴量監控
• 搭配精密平台與應力感測器，觀察次微米動作時的行為

4. 使用方法

5. 產品系列

• FS1M-0.1N 型號的解析度為 20 µN（0.002 g）。
• 可精準可視化製程中的微小變化與負載上升狀態。
• 獨特的應變體設計，在全量測範圍內提供高度可靠性。

 

超高感度類型｜解析度：20 μN（≒0.002 gf）

 

 

型號	檢測方向	測量範圍	解析度	重複精度	檢測方式	重量
FS1M-0.1NPL	壓力測定	0～100 mN （≒10 gf）	20 μN （≒0.002 gf）	±20 μN （≒±0.002 gf）	靜電容量式	100 g
FS1M-0.1NTL	拉力測定
FS1M-0.1NBL	壓力／拉力測定	±50 mN（≒±5 gf）

高感度型｜解析度：0.1 mN（≒0.01 gf）

 

 

型號	檢測方向	測量範圍	敏感度	重複性	檢測方法	重量
FS1M-1NPL	壓力測定	0～1 N（≒100 gf）	0.1 mN （≒0.01 gf）	±0.1 mN （≒±0.01 gf）	靜電容量式	40 g
FS1M-1NTL	拉力測定
FS1M-1NBL	壓力／拉力測定	±0.5 N（≒±50 gf）

中感度型｜解析度：0.5 mN（≒0.05 gf）

型號	檢測方向	測量範圍	敏感度	重複性	檢測方法	重量
FS1M-5NPL	壓力測定	0～5 N（≒500 gf）	0.5 mN （≒0.05 gf）	±0.5 mN （≒±0.05 gf）	靜電容量式	40 g
FS1M-5NTL	拉力測定
FS1M-5NBL	壓力／拉力測定	±2.5 N（≒±250 gf）

臂式超高感度型｜解析度：50 μN（≒0.005 gf）

 

 

型號	檢測方向	測量範圍	感度	重複精度	檢測方法	重量
FSCU1-0.1NS	臂式	0～100 mN （≒10 gf）	50 μN （≒0.005 gf）	±50 μN （≒±0.005 gf）	應變規式	10 g

感測器放大器

  

 

型號	檢測方法	輸出電壓	外部尺寸	重量	電源／消耗功率
FSA201CL FSA202CL	靜電容量式	0～+10V	74.5(W) × 287(D) × 120(H) mm	約 2 kg	AC100～120V, AC200～240V, 50/60Hz, 30VA
FSA201S FSA202S	應變規式

6. 常見問題 Q&A