次微米級對位不再繁瑣!無需檢知器的高精度解決方案
*2025.03製
「如何在高速運行下維持高精度?」一直是業界關注的議題。常見的精密對位技術通常需依賴外部感應器確保準確度,但也增加了配線、支架安裝與調校的負擔,特別是在多軸應用中,佈線更顯複雜。
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微米級對位不再繁瑣!無需檢知器的高精度解決方案
▌駿河精機滑台 x 東方AZ步進馬達的整合方案
廣億科技提供「無需檢知器也能高精度對位」的產品整合,不僅能提升對位精度,還能省去檢知器的需求,簡化設備設計,使自動化流程更高效。
▎駿河精機:實現高精度、高解析度
憑藉多年精密加工經驗,駿河精機在精度、剛性和耐久性都得到各界的最高評價。為了快速滿足客戶需求,駿河精機提供多款軸向及規格的標準品,特別適用於光學對位、半導體檢測等應用場景,滿足小於 1μm 的定位需求。
其中無馬達型式的滑台擁有極高的搭配自由度,若您想在擁有高精度的同時減少配線及維護難度,東方馬達的 AZ 步進馬達將是理想方案!
▎AZ步進馬達:無需原點復歸與不失步運行
東方馬達的AZ步進馬達搭載了ABZO絕對式編碼器,免電池絕對位置回授、不需外掛檢知器、還支援多種網路通訊/脈波控制。
獨創的混合式控制方式,兼具「開/閉回路控制」的優點。當AZ在容許負載下運轉時,使用開回路控制與指令同步驅動,發揮高響應性,若發生不可控因素發生導致馬達短時間內過負載時,能自動切換成閉迴路,確保馬達不會失步。
獨創的混合式控制方式,兼具「開/閉回路控制」的優點。當AZ在容許負載下運轉時,使用開回路控制與指令同步驅動,發揮高響應性,若發生不可控因素發生導致馬達短時間內過負載時,能自動切換成閉迴路,確保馬達不會失步。

當駿和精機的KXC系列搭配AZ系列時,實現 ±0.2μm 的反覆定位精度與 0.1μm 的解析度,達成高精度與高解析度的需求。
▎應用領域
- 光電產業:鏡片對位、雷射模組組裝、光纖耦合調整
- 半導體產業:晶片對位、封裝與測試、微影曝光機台
- 面板產業:OLED、LCD、Micro LED製造過程中的對位與檢測
- 自動化產業:工業機械的精準組裝、自動檢測設備的對位控制
- 半導體產業:晶片對位、封裝與測試、微影曝光機台
- 面板產業:OLED、LCD、Micro LED製造過程中的對位與檢測
- 自動化產業:工業機械的精準組裝、自動檢測設備的對位控制
▎應用範例
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XYZ 龍門型檢查機
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影像對焦調整基材平行度
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XYZθ半導體檢查機
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▌整合資源!廣億助你一臂之力
廣億科技提供專業技術服務,確保馬達與滑台的精準整合,節省您在選擇、安裝和測試方面的寶貴時間。此外,每件產品在出貨前都經過雙重檢查,確保安裝品質,讓您能立即投入使用。
▎精度 x 穩定 x 省時,全面提升生產效率

● 簡單3步驟,輕鬆選用絕對式控制次微米自動滑台
▌專業整合服務!滿足多元應用需求
廣億科技不僅提供核心料件,更憑藉豐富的經驗與專業的技術,幫助企業快速導入高精度解決方案,減少設備開發過程中的調校時間,提升整體生產效率。
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