測量微流量液體時，遇到微氣泡該怎麼辦？
*2023.11製
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❝當您測量微小流量時，是否希望在流量不穩定的狀況下，仍然可以精準量測？並且當液體中有微氣泡經過時，能即時將混亂的數值進行整定，同時持續量測！來自SONIC CORPORATION的超音波液體微流量計，能達到您以上的需求，並且有很高的準確度！❞
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對應產品：超音波液體微流量計 μLF-300系列
應用場所：塗佈設備、蝕刻設備、藥液填充、晶圓清洗設備…等
應用場所：塗佈設備、蝕刻設備、藥液填充、晶圓清洗設備…等
▍液體中的微氣泡也可以檢測到
當測量液體流量出現微氣泡時，流量計的響應性高低影響著測量結果的正確性以及精準度。
日本SONIC所製的超音波液體微流量計為高精密儀器，其檢測響應性高(10msec)，且每秒可輸出100筆檢測數據；因此，當微氣泡經過超音波量測區後，能夠立即進行量測，大幅降低了因微氣泡造成的量測誤差值。
此外，流量計可以連接電腦並搭配軟體，可即時以圖表的方式顯示當前的瞬間流量，以便同步監控液體輸出的穩定性和變化，如下圖所示。
日本SONIC所製的超音波液體微流量計為高精密儀器，其檢測響應性高(10msec)，且每秒可輸出100筆檢測數據；因此，當微氣泡經過超音波量測區後，能夠立即進行量測，大幅降低了因微氣泡造成的量測誤差值。
此外，流量計可以連接電腦並搭配軟體，可即時以圖表的方式顯示當前的瞬間流量，以便同步監控液體輸出的穩定性和變化，如下圖所示。
▲流量監控的應用，μLF系列具有高度響應性
搭配專屬軟體，①可呈現最即時的瞬間流量數據
②可透過參數欄位輕鬆調整設定
在測量過程中，瞬間流量及累計總流量數據採CSV檔格式保存，讓相關產品的開發者或品管單位能更輕鬆的觀察和應用這些資料。
②可透過參數欄位輕鬆調整設定
在測量過程中，瞬間流量及累計總流量數據採CSV檔格式保存，讓相關產品的開發者或品管單位能更輕鬆的觀察和應用這些資料。
▍高響應性與高精度的數據檢測
針對測量液體中有微氣泡經過，影響您的檢測數值，歡迎洽詢廣億科技！
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承上圖，當使用超音波進行量測時，您可以收集到高響應的數據(10msec)。可透過參數調整因微氣泡所產生混亂的數值進行整定，使檢測結果避免受到影響而異常(如右圖)。
反之，低響應性的產品，參數調整的準確性相對較未知，可能有無法檢測的情形。
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(下圖藍色區域內為奈米氣泡示意圖)
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在量測精度方面，SONIC的液體流量計採用R.D.標示，此數據規格呈現的產品在滿流量時與F.S.相比具有較高的量測精度。而在低流量時，測量出的數值準確度較高，更接近流量的實際值！
註：低流量範圍(依型號&配管管徑)精度是固定值，並非百分比。
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[延伸閱讀]：精度規格表示法
▍感測器與液體為非接觸式，有以下兩種產品規格
μLF系列中感測器不需直接與流體接觸屬於非接觸式，不必擔心感測器發生劣化的情形。
搭配的配管是耐久性高的PFA材質，抗藥物液體腐蝕性較強。
搭配的配管是耐久性高的PFA材質，抗藥物液體腐蝕性較強。
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形式
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分離型 μLF-300S
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一體型 μLF-300
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配管外徑
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2分管
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1分管
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2分管
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1分管
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流量量測範圍
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0~4000 ml/min
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0~1000 ml/min
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0~4000 ml/min
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0~1000 ml/min
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量測精度
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±0.5% RD
(800~4000 ml/min)
±4 ml/min
(800 ml/min以下)
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±0.5% RD
(200~1000 ml/min)
±1 ml/min
(200 ml/min以下)
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±1% RD
(800~4000 ml/min)
±8 ml/min
(800 ml/min以下)
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±1% RD
(200~1000 ml/min)
±2 ml/min
(200 ml/min以下)
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響應性
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10msec
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輸出方式
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數位：RS-422、RS-485
類比：DC4-20mA |
數位：RS-422、RS-485
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防護等級
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相當於IP65
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*無須切割配管的夾持式感測器：SLF 系列 (3分管以上)
▍現場測試服務
如果您對於流量測量需要更高的精確度，希望避免受到液體中的微氣泡影響，並且想要即時監測瞬間流量，本公司備有樣品可提供給您測試，讓您實際測試流量計的精度和響應性，以增加您對產品的信心。隨後，再進一步討論購買流程。
歡迎您直接點選 聯絡我們，我們將立即針對您的需求提供解決方案！
[延伸閱讀]：精準判讀細微流量的關鍵！
[延伸閱讀]：超音波的量測原理&選用