「1奈米高解析度」、「可客製化」的壓電滑台

*2021.04製

對應產品 →	超精密定位用壓電滑台
應用例　 →	對物鏡調焦　　：	白光干涉顯微鏡、共軛焦顯微鏡、雷射加工、高速/高精度對焦
	精密掃描　　　：	顯微鏡試料檢測台、掃描式探針顯微鏡、精密圖形描繪機
	光學設備　　　：	干涉儀的鏡面微調、光纖的光軸調整、透光元件的耦合調整
	超精密加工　　：	鑽石車刀精密進給、超精密模具加工、細微切削／研磨加工
	超精密位置調整：	HHD測試機、微小測試片的拉伸/壓縮、高精密的面耦合作業

壓電滑台可對應的軸向＆應用（標準品）：

標準直動滑台
X軸	XYZ軸	X軸

干涉儀的鏡面微調	光纖的光軸調整	HHD測試機

中空式直動滑台
特色	XY軸	Ｚ軸

複合軸向為一體式機構設計	光透元件的耦合調整	CCD像素交錯（像素偏移）

回轉・傾角型滑台
特色	傾斜	旋轉

可調整傾斜度及上下移動	反射鏡傾角調整	微小角度調整

對物鏡調焦專用滑台
橫型	縱型	箱型

共軛焦顯微鏡	高速、高精度對焦	適用於較重鏡頭，穩定聚焦

壓電滑台的特色：

● 高解析度

- 高規格保證「 1 奈米」極細微的移動解析度。

- 內置回授控制用的靜電容量式變位計，能達到高信賴性的反覆定位。

● 高速響應

- 以毫秒等級的速度，正確達成指令的定位動作。

- 可以高速類比指令信號進行同步追蹤動作，如Sin波或三角波的掃描動作也可以完整呈現。

● 高移動精度

- 移動的台面由彈性鉸鏈機構支撐，無摩擦磨耗，長時間的反覆動作也不會造成移動精度的劣化。

- 由於不使用潤滑劑，因此不會產生灰塵，使用時也無需維護保養。

如何控制壓電滑台？

THK PRECISION的壓電滑台控制器有3種系列型號可選擇，其控制介面有多樣種類可配合您的需求：

● 類比電壓訊號（Analog voltage）：使用0 ~ +10V電壓驅動滑台。
● RS232C：透過RS232C通信使用序列埠的命令進行控制，並提供「範例程式」及「軟體」使用。
● 並列埠（Parallel interface）：透過I/O使用16-bit二進制命令控制。
● USB / LAN：使用USB/LAN讀取位置指令和狀態，以進行命令發送/接收。
● 脈波輸入

THK PRECISION的壓電滑台控制器＊圖中為單軸專用，多軸用條件請另洽詢問。

「類比電壓訊號輸入」為全系列皆有的控制介面，NCS6000與NCS7000的主要差異在於NCS7000的回授控制方式多了微分單元「D」可做調整，而NCS8000相較於其他兩個系列，使用者可隨意調節PID的各個增益值，如下圖所示：

為何挑選THK PRECISION的壓電滑台？

壓電滑台的特徵之一，就是可以獲得極高的速度響應性，而高響應性主要與滑台機構本身的共振頻率有很大的依存關係。THK PRECISION擁有THK集團累積的先進科學製造技術及豐富資源，除了高精度規格的標準品之外，如果您對於壓電滑台的「軸向」、「角度」、「控制方式」有不同的需求條件，THK PRECISION也能依照您的規格進行客製化設計（如下圖）：

【歡迎直接與廣億科技專業人員聯繫，協助選用方向或討論提案服務】

[延伸閱讀]：次微米精密滑台整合提案

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