為精密設備/儀器解決微震動問題 - Part 1 倉敷化工除震系統解析
*2023.03製
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❝倉敷化工累積60年的防震技術，能解決各種場地環境的複雜震動頻率，甚至是人體無法察覺的超低頻微震，皆能以獨有的技術提供最佳解決方案。❞
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為精密設備/儀器解決震動問題 - Part 1 倉敷化工除震系統解析
近年高科技產業對於設備精度與安定性的要求越來越嚴苛，如何處理微震動已經是業界關注的焦點。
對於廠內的低頻微震，往往是影響精度與良率的主因，為了維持產品的最佳狀態，設備要做的不只除振，其實制振也是需要考量的重點之一。
對於廠內的低頻微震，往往是影響精度與良率的主因，為了維持產品的最佳狀態，設備要做的不只除振，其實制振也是需要考量的重點之一。
▌除震性能&制震性能
▌主動式&被動式除震系統的作動方式及原理
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| 分類 | 作動方式/原理 | 示意圖 | |
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主動式
除震台 |
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| 被動式 除震台 |
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可選配快速調節閥系統，即可快速控制充排氣，進一步提升制震性能。
▼快速調節閥系統範例：  |
| 分類 | 設備精度要求 | 應用例 |
| 主動式 除震台 |
次微米 ~ 奈米 | ．半導體相關設備 ．FPD面板相關設備 ．電子束顯微鏡(TEM/SEM) ．白光干涉儀相關應用 |
| 被動式 除震台 |
3um以下 | ．半導體相關設備 ．FPD面板相關設備 ．電子光束顕微鏡、高倍率影像檢測 ．高精密測量設備 |
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▌除震性能比較 (主動式與被動式除震系統的震動傳達率)
如下圖示意，被動式的除振效果(藍線)於5Hz前就降到０dB以下代表在極低頻區域就有除震效果，主動式的除震性能更是幾乎從0Hz即開始有除振效能，因而能處理高精密製程中面臨到的極低頻震動問題。
▌倉敷化工－精密除震系統
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